200纳米分辨率X光探测器问世

      日本高亮度光科学研究中心（JASRI）、理化学研究所及神岛化学工业公司组成的研究小组，成功开发出能分辨200纳米结构的高分辨率X光成像探测器。这款X光探测器拥有全球最高的分辨率，能获得前所未有的高精细X光图像。

      研究小组利用X光转换为可见光，开发了无接合层的5微米厚透明薄膜闪烁体，大幅提高了光学特性，实现了接近X光成像理论极限的200纳米分辨率。利用该探测器，研究小组成功拍摄了超大规模集成电路（VLSI）器件内部300纳米宽的布线。这是全球首次以实用水平画质无损拍摄出VLSI内部的微细布线。

      气体原料制出1立方厘米级单晶金刚石

      日本产业技术综合研究所采用微波等离子体CVD（化学气相沉积）法，首次利用气体制作出体积1立方厘米级的无裂纹单晶金刚石。此次采用容易扩大合成面积的气体为原料，制作出全球最大级的高品质晶体，这一成果是向实现大型晶圆迈出的重要一步。

      功率半导体广泛应用于电力基础设施、汽车、铁路车辆、工业设备及家电等各种产品和设备，是支撑这些产品和设备实现高性能化及节能化的重要器件。此次的成果不仅能应用于功率半导体等电子领域，预计还可应用于自旋电子领域。金刚石能在室温和常压下处理空间分辨率较高的量子信息等，因此有望进一步提高传感器和量子计算设备等的性能。

            （本栏目稿件来源：日本科学技术振兴机构 整编：本报驻日本记者 陈超）